PFA花篮是一种由全氟烷氧基聚合物(PFA)制成的高性能容器,专为半导体、太阳能、锂电池等行业的精密制造流程设计,其核心特性与应用场景如下:
核心特性
耐高温与耐低温
PFA花篮可在-200℃至+260℃的极端温度范围内稳定工作,满足半导体制造中高温蚀刻、低温存储等工艺需求。其耐热性确保在高温环境下不变形、不释放有害物质,保障晶圆等精密元件的完整性。卓越的化学稳定性
PFA材质对强酸、强碱及有机溶剂具有极强的耐受性,能抵抗多种化学试剂的腐蚀,确保在复杂工艺环境中长期使用不污染样品。其低溶出和析出特性(金属元素空白值低,铅铀含量小于0.01ppb)进一步保障了高纯度实验的准确性。低摩擦系数与耐磨性
PFA花篮表面光滑,摩擦系数低,耐磨性强,可减少晶圆在传输过程中的摩擦损伤,确保晶圆表面的光洁度和精度。良好的电绝缘性能
PFA材质具有优异的电绝缘性,介电性能与温度、频率无关,可避免晶圆在传输和加工过程中受到静电干扰,提高制造过程的稳定性。环保与可定制性
PFA材料可回收利用,符合环保要求。同时,PFA花篮提供多种规格(如2寸、3寸、4寸、6寸、8寸等),并可根据客户需求定制尺寸、形状及功能(如加装提手、RFID追踪模块等),满足不同工艺场景的个性化需求。
应用场景
半导体制造
PFA花篮是半导体蚀刻、清洗、沉积等工艺中的关键承载工具,用于晶圆在各工艺区域间的传输与存储。其耐高温、耐腐蚀和低污染特性,确保晶圆在制造过程中的安全性和稳定性。太阳能行业
PFA花篮用于太阳能电池硅片的清洗和传输,其耐化学腐蚀性能可抵抗清洗液中的强腐蚀性成分,保障硅片表面的清洁度和完整性。锂电池与新材料领域
PFA花篮可用于锂电池电极材料的处理和新材料的研发,其高纯度和低污染特性满足这些领域对实验器材的严格要求。液晶屏与玻璃制造
PFA花篮的透明性和化学稳定性,使其成为液晶屏和玻璃制造过程中理想的承载工具,便于观察样品状态并避免污染。













